本發(fā)明關(guān)于用于產(chǎn)生光刻掩模的空間像的計(jì)算機(jī)實(shí)施方法、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)、計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品、和相應(yīng)的系統(tǒng)。此方法、計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)、計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品、和系統(tǒng)可用于定量計(jì)量、光刻掩模中的缺陷檢測(cè)、光刻掩模中的缺陷相關(guān)性的評(píng)估、用于光刻掩模改進(jìn)、用于系統(tǒng)仿真、或用于工藝控制、工藝監(jiān)控、或工藝改進(jìn)。、由硅薄...