旋轉(zhuǎn)磁控濺射靶永磁磁場(chǎng)源結(jié)構(gòu)本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)磁控濺射靶的永磁磁場(chǎng)源結(jié)構(gòu),具體涉及一種承載固定永磁體的底板為磁導(dǎo)率低、耐蝕性強(qiáng)的材料(如不銹鋼但不限于不銹鋼),其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝調(diào)試方便、磁場(chǎng)強(qiáng)度可調(diào)、磁場(chǎng)均勻性好、工作可靠性高、使用壽命長(zhǎng)而且適用于各種磁控濺射靶的永磁磁場(chǎng)源結(jié)構(gòu)。目...