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本發(fā)明涉及一種控制處理室內(nèi)壓力的設(shè)備及其操作方法。半導(dǎo)體處理室內(nèi)的壓力一般是通過(guò)改變從處理室中由真空泵排出的過(guò)程氣體的流量來(lái)實(shí)現(xiàn)的。這些真空泵包括一個(gè)有渦輪分子泵的第一泵單元和一個(gè)有前級(jí)泵的第二泵單元。通常第一泵單元的入口以流體連通的方式與半導(dǎo)體處理室的出口相連，第二泵單元的入口也以流體...

本發(fā)明涉及權(quán)利要求1的前敘部分所述的泵。此外，本發(fā)明涉及調(diào)節(jié)方法和這種泵的應(yīng)用。能夠在高壓下以最少的損耗、最小的脈動(dòng)和相應(yīng)準(zhǔn)確、確定的流量輸送最小容量的液體的泵是高性能液體色譜法(HPLC)所特別需要的。目前，在例如100巴的色譜柱工作壓力下，流速高達(dá)約5毫升/分鐘，而變化率能力降至10...

本發(fā)明總體上涉及一種流體壓縮機(jī)，尤其是，涉及一種具有改進(jìn)的排氣閥的壓縮機(jī)。許多往復(fù)式壓縮機(jī)的缸筒利用一個(gè)活塞組件，該活塞組件在形成在壓縮機(jī)本體中的缸筒中往復(fù)運(yùn)動(dòng)，并且其外側(cè)關(guān)閉缸筒的端部。在這些設(shè)置中，活塞組件通常包括一個(gè)控制閥，該控制閥控制氣體流過(guò)壓縮機(jī)的本體結(jié)構(gòu)到達(dá)缸筒中，然后在允許...

本發(fā)明涉及泵機(jī)組。作為現(xiàn)有的泵機(jī)組如圖4所示。該泵機(jī)組具有由變速馬達(dá)51進(jìn)行轉(zhuǎn)速可變驅(qū)動(dòng)的固定容積式泵52和通過(guò)改變供給所述變速馬達(dá)51的電流的頻率來(lái)控制馬達(dá)51的轉(zhuǎn)速的控制單元53。該控制單元53接收來(lái)自檢測(cè)所述泵52的排出路道的壓力的壓力傳感器54的信號(hào)，通過(guò)控制所述變速馬達(dá)51的轉(zhuǎn)...

本發(fā)明涉及一種四聯(lián)泵(four-inpump)，其中分別設(shè)置在四個(gè)容積室中的活塞進(jìn)行泵送運(yùn)動(dòng)，更具體地涉及這樣一種四聯(lián)泵，其中四個(gè)偏心軸利用設(shè)在第一和第二缸體之間的齒輪箱的傳動(dòng)裝置進(jìn)行偏心轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)，且分別安裝在偏心軸上的活塞在第一和第二缸體中的容積室中以彼此不同的速度進(jìn)行內(nèi)接偏心圓周運(yùn)動(dòng)。背景技...

本發(fā)明涉及一種具有權(quán)利要求1前序部分特征的抽真空裝置。如果要在一個(gè)處理腔室內(nèi)或者一個(gè)其他的容器內(nèi)建立處于高真空范圍(＜＝10-3mbar)內(nèi)的壓力，通常使用一些具有一個(gè)抽吸側(cè)的真空泵和一個(gè)大氣壓力側(cè)的真空泵(預(yù)真空泵)的抽真空裝置。抽吸側(cè)的真空泵通常設(shè)計(jì)為機(jī)械動(dòng)力的真空泵。屬于這一類(lèi)的有...

本發(fā)明總的來(lái)說(shuō)涉及產(chǎn)生一種基本上從其中消除顆粒物質(zhì)的電動(dòng)(electro-kinetic)氣流的設(shè)備。使用電動(dòng)機(jī)來(lái)旋轉(zhuǎn)風(fēng)機(jī)葉片以產(chǎn)生氣流是本領(lǐng)域所公知的。不幸地，所述風(fēng)扇產(chǎn)生大量噪聲，并且給被引誘將指頭或鉛筆插入轉(zhuǎn)動(dòng)的風(fēng)機(jī)葉片的兒童帶來(lái)危險(xiǎn)。雖然所述風(fēng)扇能夠產(chǎn)生大量的氣流(例如每分鐘10...

本發(fā)明涉及包括兩個(gè)軸的兩軸真空泵。旋轉(zhuǎn)柱塞泵(也稱(chēng)為羅茨(Roots)泵)通常為兩軸真空泵。Roots泵的兩個(gè)軸包括旋轉(zhuǎn)柱塞，該旋轉(zhuǎn)柱塞在不彼此接觸的情況下滑移。兩個(gè)軸中的一個(gè)由電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，而另一個(gè)軸通過(guò)齒輪而與驅(qū)動(dòng)軸同步。在泵送操作過(guò)程中，旋轉(zhuǎn)柱塞由于氣體壓縮而進(jìn)行較強(qiáng)加熱。實(shí)際上...

本發(fā)明涉及一種壓縮機(jī)，尤其地，本發(fā)明涉及一種液體環(huán)式壓縮機(jī)。大多數(shù)壓縮機(jī)以合適的絕熱過(guò)程即在壓縮過(guò)期沒(méi)有熱量交換進(jìn)行工作。實(shí)際上，例如往復(fù)運(yùn)動(dòng)的壓縮機(jī)散發(fā)出大量熱量，但是只有小部分的熱量在壓縮期間散發(fā)出來(lái)，大部分的熱量在壓縮期間之后或者在結(jié)束階段散發(fā)出來(lái)。透平壓縮機(jī)常常具有非常接近絕熱的過(guò)程。一些...

本發(fā)明涉及機(jī)械工程，并且可以用于高壓低振動(dòng)的可逆機(jī)器中，其能夠作為馬達(dá)和泵來(lái)工作。可應(yīng)用氣體和液體工作流體。在已知可調(diào)的回轉(zhuǎn)式機(jī)械(UK2207953)中，轉(zhuǎn)子安裝在包括入口和出口的殼體中。轉(zhuǎn)子具有容納徑向滑動(dòng)閥的槽。所述泵包括用于將閥定位在轉(zhuǎn)子槽中的機(jī)構(gòu)、工作室和可徑向移動(dòng)的調(diào)節(jié)元件...

本發(fā)明涉及通風(fēng)機(jī)，更具體的說(shuō)涉及一種葉片可調(diào)式通風(fēng)機(jī)?，F(xiàn)有的空調(diào)軸流風(fēng)機(jī)的葉輪上的葉片一般是固定在葉輪輪轂上，其無(wú)法調(diào)整葉片角度，一般是一個(gè)葉輪，葉片只有一種角度，無(wú)法根據(jù)不同的環(huán)境不同的風(fēng)量要求調(diào)整其角度，從而滿(mǎn)足使用的要求；而有些具有調(diào)整葉片角度功能的軸流風(fēng)機(jī)，一般是設(shè)計(jì)了與軸流風(fēng)機(jī)相...

本發(fā)明涉及用于油電混合、純電動(dòng)汽車(chē)的動(dòng)力裝置冷卻以及空調(diào)系統(tǒng)PTC加熱裝置冷卻系統(tǒng)，具體的涉及一種新能源汽車(chē)的冷卻水泵。新能源(油電混合、純電動(dòng))車(chē)型的動(dòng)力裝置主要包括發(fā)動(dòng)機(jī)(僅限混合動(dòng)力車(chē)輛)、電機(jī)、逆變器和電機(jī)控制器。這些動(dòng)力裝置的冷卻方式一般采用水冷方式，而如何為除發(fā)動(dòng)機(jī)外其他動(dòng)力裝...

本發(fā)明涉及一種熔鹽泵，具體說(shuō)是一種具有較好散熱性能的高溫熔鹽泵。熔鹽泵是專(zhuān)門(mén)用來(lái)輸送高溫熔鹽的泵，對(duì)于輸送介質(zhì)溫度超過(guò)100°C以上，熱量一般是通過(guò)主軸或連接支架將高溫?zé)醾鬟f至軸承部位，從而會(huì)導(dǎo)致軸承潤(rùn)滑提前失效并引發(fā)泵運(yùn)行故障，對(duì)高溫介質(zhì)輸送泵必須即時(shí)對(duì)軸承等部位進(jìn)行有效冷卻。傳統(tǒng)的冷卻...

本發(fā)明涉及壓縮機(jī)，特別涉及一種壓縮機(jī)泵體組件具有絕熱特性的壓縮機(jī)。壓縮機(jī)，是一種將低壓氣體提升為高壓氣體的流體機(jī)械，是制冷系統(tǒng)的心臟，低溫低壓的制冷劑氣體通過(guò)進(jìn)氣管吸入，同時(shí)通過(guò)驅(qū)動(dòng)組件運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)泵體組件對(duì)吸入的制冷劑氣體進(jìn)行壓縮后，向出氣管排出高溫高壓的制冷劑氣體，為制冷循環(huán)提供動(dòng)力，從而...

本發(fā)明涉及一種電磁裝置，具體的說(shuō)是指一種磁電動(dòng)能壓縮機(jī)。壓縮機(jī)作為一種常見(jiàn)的流體機(jī)械，其通過(guò)氣缸內(nèi)活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)做功。一般壓縮機(jī)的結(jié)構(gòu)包括有電機(jī)、曲柄、連桿、活塞以及氣缸，電機(jī)驅(qū)動(dòng)曲柄轉(zhuǎn)動(dòng)，曲柄通過(guò)連桿帶動(dòng)活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而使活塞在氣缸內(nèi)運(yùn)動(dòng)做功。但是由于其各個(gè)部件之間均為接觸連接，...

本發(fā)明涉及真空設(shè)備，特別涉及一種連續(xù)真空生產(chǎn)線雙腔轉(zhuǎn)換室抽氣系統(tǒng)。目前的真空抽氣泵大多采用在真空抽氣泵腔體兩端抽氣的方式，即在真空抽氣泵腔體左右兩端設(shè)置抽氣端口。這種抽氣方式將機(jī)器體內(nèi)腔器腔體內(nèi)氣體從鍍膜機(jī)器腔體的兩端源源不斷抽出腔體?，F(xiàn)有技術(shù)的雙腔轉(zhuǎn)換室抽氣系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，采...

本發(fā)明涉及一種熔鹽泵，具體說(shuō)是一種具有較好復(fù)合散熱性能的高溫熔鹽泵。熔鹽泵是專(zhuān)門(mén)用來(lái)輸送高溫熔鹽的泵，對(duì)于輸送介質(zhì)溫度超過(guò)100°C以上，熱量一般是通過(guò)主軸或連接支架將高溫?zé)醾鬟f至軸承部位，從而會(huì)導(dǎo)致軸承潤(rùn)滑提前失效并引發(fā)泵運(yùn)行故障，對(duì)高溫介質(zhì)輸送泵必須即時(shí)對(duì)軸承等部位進(jìn)行有效冷卻。傳統(tǒng)的...

本發(fā)明屬于煤礦井下風(fēng)機(jī)維修，具體涉及風(fēng)機(jī)風(fēng)葉拆卸裝置。通常風(fēng)機(jī)檢修時(shí)，需要拆卸風(fēng)葉，而目前常用的拆卸風(fēng)葉的工具圓盤(pán)螺旋絲杠存在如下問(wèn)題在拆卸風(fēng)葉過(guò)程中，需要用大錘敲打螺旋絲杠，使頂頭震動(dòng)，然后進(jìn)行絲杠旋轉(zhuǎn)，在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)螺旋絲杠頂尖與軸頭頂絲眼摩擦力過(guò)大，導(dǎo)致圓盤(pán)絲杠不平衡，連接螺栓被拔斷，造成...

本發(fā)明涉及一種無(wú)刷電機(jī)滾柱泵，尤其是用于滿(mǎn)足國(guó)II1、國(guó)IV、國(guó)V排放標(biāo)準(zhǔn)柴油機(jī)車(chē)油路供給系統(tǒng)，集滾柱泵、無(wú)刷電機(jī)、無(wú)刷電機(jī)控制器、泄壓閥為一體的無(wú)刷電機(jī)滾柱泵?，F(xiàn)在車(chē)輛上都是滾柱泵和有刷電機(jī)結(jié)合的輸油泵，采用有刷電機(jī)，使用中碳刷磨損，雜質(zhì)污染燃油，發(fā)動(dòng)機(jī)容易形成積碳。且碳刷磨損后不能正常...

本發(fā)明涉及一種發(fā)電系統(tǒng)，具體說(shuō)是一種以空氣為動(dòng)力的氣動(dòng)發(fā)電系統(tǒng)。目前的發(fā)電系統(tǒng)主要有汽油發(fā)電機(jī)、柴油發(fā)電機(jī)、水輪發(fā)電機(jī)和風(fēng)力發(fā)電機(jī)等系統(tǒng)。這些發(fā)動(dòng)機(jī)一般要燒油、燒氣或水力、風(fēng)力提供能源。燒油、燒氣的發(fā)電機(jī)有如下缺陷一是油、氣資源少、價(jià)格貴，增加運(yùn)行成本；二是都要排放對(duì)人體有害的尾氣，污染大...