本公開涉及測量,尤其涉及一種基于多目立體視覺與超分辨的條紋投影圖像增強(qiáng)方法及裝置、電子設(shè)備和存儲介質(zhì)。
背景技術(shù):
1、半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝日趨微型化與密集化,特別是隨著先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展,檢測對象在高度方向呈現(xiàn)出密集堆疊的特征,這使得三維光學(xué)檢測成為一種不可或缺的手段,條紋投影輪廓術(shù)作為工業(yè)在線測量領(lǐng)域的一種成熟方法,在速度和精度的平衡方面表現(xiàn)優(yōu)異。該方法因投影與成像需保持一定夾角,易受陰影遮擋和多重反射效應(yīng)影響,導(dǎo)致條紋圖像的調(diào)制度較低,從而引發(fā)相位歧義和相位斷裂等問題,造成局部測量精度下降。
2、雖然,多相機(jī)方案能一定程度上改善上述問題,但是單純依靠相位或者高度進(jìn)行插值融合這類后處理,并沒有從根本上改善條紋質(zhì)量,得到的區(qū)域精度仍然不理想。此外,通過提高相機(jī)面陣和數(shù)量來改善測量精度。但是,隨著硬件設(shè)備的增加,成本上升。而且,這種方法會導(dǎo)致數(shù)據(jù)采集量、計算量急劇增加,嚴(yán)重影響測量時效性。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、有鑒于此,本公開提出了一種基于多目立體視覺與超分辨的條紋投影圖像增強(qiáng)方案。
2、根據(jù)本公開的一方面,提供了一種基于多目立體視覺與超分辨的條紋投影圖像增強(qiáng)方法。該方法包括:獲取包含投射有條紋圖案的待測物體的主視圖像,以及側(cè)視圖像;對所述側(cè)視圖像進(jìn)行重建,得到重建側(cè)視圖像,所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量優(yōu)于所述側(cè)視圖像;確定所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo);在所述質(zhì)量指標(biāo)不滿足質(zhì)量條件的情況下,基于所述重建側(cè)視圖像,確定優(yōu)化側(cè)視圖像,將所述優(yōu)化側(cè)視圖像作為新的側(cè)視圖像,迭代地執(zhí)行所述重建至所述確定優(yōu)化側(cè)視圖像的操作,直到所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo)滿足所述質(zhì)量條件,得到目標(biāo)側(cè)視圖像,所述目標(biāo)側(cè)視圖像用于結(jié)合所述主視圖像確定所述待測物體的形貌數(shù)據(jù)。
3、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述對所述側(cè)視圖像進(jìn)行重建,得到重建側(cè)視圖像,包括:基于所述主視圖像、所述側(cè)視圖像,確定深度數(shù)據(jù);基于所述深度數(shù)據(jù),確定所述主視圖像與所述側(cè)視圖像的映射關(guān)系;以所述映射關(guān)系作為引導(dǎo)參數(shù),基于所述主視圖像,對所述側(cè)視圖像進(jìn)行重建,得到所述重建側(cè)視圖像。
4、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述確定所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo),包括:將所述重建側(cè)視圖像,劃分為多個第一區(qū)域;確定各所述第一區(qū)域的第一質(zhì)量指標(biāo)。
5、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量條件包括第一質(zhì)量條件,所述在所述質(zhì)量指標(biāo)不滿足質(zhì)量條件的情況下,基于所述重建側(cè)視圖像,確定優(yōu)化側(cè)視圖像,包括:在任一所述第一質(zhì)量指標(biāo)不滿足所述第一質(zhì)量條件的情況下,將所述重建側(cè)視圖像作為所述優(yōu)化側(cè)視圖像。
6、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述確定所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo),包括:對所述重建側(cè)視圖像進(jìn)行下采樣處理,得到低分辨率圖像,所述低分辨率圖像與所述側(cè)視圖像分辨率相同;將所述低分辨率圖像,劃分為多個第二區(qū)域;確定各所述第二區(qū)域的第二質(zhì)量指標(biāo)。
7、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量條件包括第二質(zhì)量條件,所述在所述質(zhì)量指標(biāo)不滿足質(zhì)量條件的情況下,基于所述重建側(cè)視圖像,確定優(yōu)化側(cè)視圖像,包括:將所述側(cè)視圖像,劃分為多個第三區(qū)域;確定所述第二質(zhì)量指標(biāo)不滿足第二質(zhì)量條件的目標(biāo)第二區(qū)域;使用與所述目標(biāo)第二區(qū)域?qū)?yīng)的第三區(qū)域,替換所述目標(biāo)第二區(qū)域,得到所述優(yōu)化側(cè)視圖像。
8、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述確定所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo),包括:確定分項指標(biāo),所述分項指標(biāo)包括以下多個:條紋圖案周期、條紋圖案前景和背景對比度、條紋圖案灰度變化范圍、像素在條紋圖案周期中的位置、待測物體材質(zhì)、條紋圖案亮度分布、以及鄰域像素質(zhì)量;基于所述分項指標(biāo),確定所述質(zhì)量指標(biāo)。
9、根據(jù)本公開的另一方面,提供了一種基于多目立體視覺與超分辨的條紋投影圖像增強(qiáng)裝置。該裝置包括:
10、圖像獲取單元,用于獲取包含投射有條紋圖案的待測物體的主視圖像,以及側(cè)視圖像;
11、重建側(cè)視圖像確定單元,用于對所述側(cè)視圖像進(jìn)行重建,得到重建側(cè)視圖像,所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量優(yōu)于所述側(cè)視圖像;
12、質(zhì)量指標(biāo)確定單元,用于確定所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo);
13、目標(biāo)側(cè)視圖像確定單元,用于在所述質(zhì)量指標(biāo)不滿足質(zhì)量條件的情況下,基于所述重建側(cè)視圖像,確定優(yōu)化側(cè)視圖像,將所述優(yōu)化側(cè)視圖像作為新的側(cè)視圖像,迭代地執(zhí)行所述重建至所述確定優(yōu)化側(cè)視圖像的操作,直到所述重建側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo)滿足所述質(zhì)量條件,得到目標(biāo)側(cè)視圖像,所述目標(biāo)側(cè)視圖像用于結(jié)合所述主視圖像確定所述待測物體的形貌數(shù)據(jù)。
14、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述重建側(cè)視圖像確定單元,進(jìn)一步用于:
15、基于所述主視圖像、所述側(cè)視圖像,確定深度數(shù)據(jù);
16、基于所述深度數(shù)據(jù),確定所述主視圖像與所述側(cè)視圖像的映射關(guān)系;
17、以所述映射關(guān)系作為引導(dǎo)參數(shù),基于所述主視圖像,對所述側(cè)視圖像進(jìn)行重建,得到所述重建側(cè)視圖像。
18、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量指標(biāo)確定單元,進(jìn)一步用于:
19、將所述重建側(cè)視圖像,劃分為多個第一區(qū)域;
20、確定各所述第一區(qū)域的第一質(zhì)量指標(biāo)。
21、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量條件包括第一質(zhì)量條件,所述目標(biāo)側(cè)視圖像確定單元,進(jìn)一步用于:
22、在任一所述第一質(zhì)量指標(biāo)不滿足所述第一質(zhì)量條件的情況下,將所述重建側(cè)視圖像作為所述優(yōu)化側(cè)視圖像。
23、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量指標(biāo)確定單元,進(jìn)一步用于:
24、對所述重建側(cè)視圖像進(jìn)行下采樣處理,得到低分辨率圖像,所述低分辨率圖像與所述側(cè)視圖像分辨率相同;
25、將所述低分辨率圖像,劃分為多個第二區(qū)域;
26、確定各所述第二區(qū)域的第二質(zhì)量指標(biāo)。
27、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量條件包括第二質(zhì)量條件,所述目標(biāo)側(cè)視圖像確定單元,包括:
28、將所述側(cè)視圖像,劃分為多個第三區(qū)域;
29、確定所述第二質(zhì)量指標(biāo)不滿足第二質(zhì)量條件的目標(biāo)第二區(qū)域;
30、使用與所述目標(biāo)第二區(qū)域?qū)?yīng)的第三區(qū)域,替換所述目標(biāo)第二區(qū)域,得到所述優(yōu)化側(cè)視圖像。
31、在一種可能的實現(xiàn)方式中,所述質(zhì)量指標(biāo)確定單元,進(jìn)一步用于:
32、確定分項指標(biāo),所述分項指標(biāo)包括以下多個:條紋圖案周期、條紋圖案前景和背景對比度、條紋圖案灰度變化范圍、像素在條紋圖案周期中的位置、待測物體材質(zhì)、條紋圖案亮度分布、以及鄰域像素質(zhì)量;
33、基于所述分項指標(biāo),確定所述質(zhì)量指標(biāo)。
34、根據(jù)本公開另一方面,提供了一種電子設(shè)備,包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上的計算機(jī)程序,所述處理器執(zhí)行所述計算機(jī)程序以實現(xiàn)上述方法的步驟。
35、根據(jù)本公開另一方面,提供了一種非易失性計算機(jī)可讀存儲介質(zhì),其上存儲有計算機(jī)程序,所述計算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)上述方法的步驟。
36、根據(jù)本公開另一方面,提供了一種計算機(jī)程序產(chǎn)品,包括計算機(jī)程序,或者承載有計算機(jī)程序的非易失性計算機(jī)可讀存儲介質(zhì),所述計算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)上述方法的步驟。
37、在本公開實施例中,迭代地對側(cè)視圖像進(jìn)行重建、質(zhì)量評估、并基于重建側(cè)視圖像確定優(yōu)化圖像,直到側(cè)視圖像的質(zhì)量指標(biāo)滿足質(zhì)量條件,以提升各角度獲取的側(cè)視圖像本身的質(zhì)量,進(jìn)而提升對待測物體測量的準(zhǔn)確性。無需增加相機(jī)數(shù)據(jù)量、也無需提高相機(jī)面陣,不用改變已有的測量設(shè)備,未增加硬件成本。另外,由于沒有增加相機(jī)數(shù)量和面陣,不會增加數(shù)據(jù)采集量、需要處理的圖像數(shù)量沒有增加,所以不影響測量的時效性。由此可見,本公開的方法可以在不增加硬件成本的前提下,提高測量精度。
38、根據(jù)下面參考附圖對示例性實施例的詳細(xì)說明,本公開的其它特征及方面將變得清楚。