本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體,特別是涉及一種自動(dòng)門(mén)結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體設(shè)備。、隨著技術(shù)的發(fā)展,對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的自動(dòng)化需求越來(lái)越高,目前的半導(dǎo)體設(shè)備往往需要自動(dòng)化開(kāi)關(guān)門(mén),例如自動(dòng)實(shí)現(xiàn)°開(kāi)門(mén)或關(guān)門(mén),正常開(kāi)門(mén)或關(guān)門(mén)的時(shí)間約為s左右,根據(jù)機(jī)械原理可以推算出減速機(jī)速比需要至少為∶,高速比的減速機(jī)往往具備自鎖特性,這將導(dǎo)致...