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本實(shí)用新型涉及一種適用于微構(gòu)件表面的減摩織構(gòu)。屬于機(jī)械制造。微電子機(jī)械系統(tǒng)(mems)或稱微型機(jī)械是機(jī)械科學(xué)技術(shù)的前沿領(lǐng)域，具有體積小，質(zhì)量輕，能耗低，集成度和智能化程度高等特點(diǎn)。但mems中的微型活動(dòng)構(gòu)件，如微型齒輪、軸、轉(zhuǎn)子、葉片等，由于微型構(gòu)件之間的間隙極小，往往處于微米級(jí)，...

本實(shí)用新型涉及傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種微機(jī)電傳感器和應(yīng)用該微機(jī)電傳感器的電子設(shè)備。隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的日益成熟，在此基礎(chǔ)上所發(fā)展起來的mems微機(jī)電系統(tǒng)以其體積小，功耗低，性能穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)也逐漸成為現(xiàn)今高新技術(shù)發(fā)展的主流之一。完整的微機(jī)電系統(tǒng)的主要包含其中的微傳感器，微動(dòng)作器及微能源。現(xiàn)有的...

本實(shí)用新型涉及mems傳感器封裝，具體而言，尤其涉及一種低成本低應(yīng)力真空封裝mems傳感器。微機(jī)電系統(tǒng)（mems）技術(shù)主要用于制作微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微光學(xué)器件等。隨著mems技術(shù)的快速發(fā)展，機(jī)械、電子等科研機(jī)構(gòu)和企業(yè)研發(fā)出了大量mems芯片，但大部分難以投入實(shí)際生產(chǎn)，其...

本發(fā)明涉及微結(jié)構(gòu)制備，特別涉及一種寬高比恒定的微結(jié)構(gòu)的制備方法。同時(shí)，本發(fā)明也涉及一種具有由以上方法所制備的微結(jié)構(gòu)的pdms彈性體。微結(jié)構(gòu)是尺度范圍一般在微米量級(jí)的結(jié)構(gòu)形式，其在微流體力學(xué)以及生物醫(yī)藥微流控方面有著廣泛的應(yīng)用。目前用于制備微結(jié)構(gòu)的方法主要有硬質(zhì)塑料和金屬注塑模具加工...

本發(fā)明涉及材料領(lǐng)域。具體地，本發(fā)明涉及一種制備懸空的層狀金屬硫?qū)倩衔锏姆椒āＤ壳耙阎膶訝畈牧嫌袔装俜N之多，其中大部分材料體系的研究還處于初級(jí)階段，許多重要的性質(zhì)仍然需要深入的探索。石墨烯的發(fā)現(xiàn)掀起了二維材料的研究熱潮，其是最早被發(fā)現(xiàn)的二維材料且具有非常多優(yōu)異的性能，但是石墨烯由于沒有合...

本公開涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)(mems)設(shè)備的封裝，并且更具體地涉及一種增加產(chǎn)品產(chǎn)率的大管芯尺寸的mems設(shè)備的封裝。壓電微機(jī)械超聲換能器(pmut)是響應(yīng)于與薄壓電膜耦接的薄膜的撓曲運(yùn)動(dòng)而不是如在體壓電超聲換能器內(nèi)的壓電陶瓷板的厚度模式運(yùn)動(dòng)而操作的mems設(shè)備。應(yīng)當(dāng)注意，pmut是一類微機(jī)械...

本公開總體上涉及電子裝置，并且更具體地涉及半導(dǎo)體裝置和用于制造半導(dǎo)體裝置的方法?，F(xiàn)有半導(dǎo)體封裝和用于形成半導(dǎo)體封裝的方法存在不足之處，例如，造成成本過多、可靠性降低、性能相對(duì)較低或封裝尺寸太大。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，通過將常規(guī)和傳統(tǒng)方法與本公開進(jìn)行比較并且參照附圖，此類方法的另外的局限...

相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求2018年2月9日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)62/628,562的權(quán)益，其全部?jī)?nèi)容通過引用并入本文。關(guān)于聯(lián)邦政府贊助的研究或開發(fā)的聲明本發(fā)明是在美國(guó)國(guó)立衛(wèi)生研究院授予的eb012135號(hào)政府資助下完成的。政府對(duì)本發(fā)明具有一定的權(quán)利。多種蛋白質(zhì)抗原已被證明可作為癌癥生物標(biāo)...

本發(fā)明涉及一種用于制造至少部分地封裝的半導(dǎo)體晶片的方法。從現(xiàn)有技術(shù)中已知，借助于持久的化學(xué)連接將半導(dǎo)體襯底彼此連接。這種方法通常稱為陽極鍵合、直接鍵合或共晶鍵合。已知在電子工業(yè)中使用這種方法來制造光學(xué)和電氣構(gòu)件，以便通過施裝殼體來保護(hù)構(gòu)件不受環(huán)境影響。此外，晶片鍵合在微系統(tǒng)中被使用...

本實(shí)用新型涉及電子領(lǐng)域，具體涉及一種mems器件的抗沖擊結(jié)構(gòu)。mems傳感器通過測(cè)量微小敏感結(jié)構(gòu)的某種變化來實(shí)現(xiàn)相應(yīng)待測(cè)量的測(cè)量。mems(microelectromechanicalsystem)傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、成本低等優(yōu)點(diǎn)。mems傳感器按其感知量可以分為mems力學(xué)...

本發(fā)明屬于埃洛石納米管自組裝領(lǐng)域，具體地說，涉及一種大規(guī)模定向排列埃洛石納米管的方法。作為一種天然的管狀黏土礦物，埃洛石納米管由于其優(yōu)異的結(jié)構(gòu)和性能，受到廣泛的關(guān)注，具有很高的開發(fā)和研究?jī)r(jià)值。埃洛石納米管具有納米級(jí)別的長(zhǎng)度以及管徑，兩端開放的空心納米管結(jié)構(gòu)，較大的長(zhǎng)徑比，其長(zhǎng)度分布在400...

本發(fā)明涉及微機(jī)械設(shè)備制備領(lǐng)域，尤其涉及一種微機(jī)械設(shè)備的制備方法。隨著現(xiàn)代電子技術(shù)的快速發(fā)展，諸如導(dǎo)航系統(tǒng)，蜂窩電話和電子游戲的各種電子設(shè)備需要能夠以小的形狀因子以低成本準(zhǔn)確地確定設(shè)備的運(yùn)動(dòng)的傳感器。已經(jīng)開發(fā)了傳統(tǒng)技術(shù)來在asic晶片上凸起微機(jī)電系統(tǒng)(mems)芯片或者將mems與asic晶...

本發(fā)明涉及傳感器，具體涉及一種用于在智能制造惡劣環(huán)境監(jiān)測(cè)的嵌入式微納傳感器及其制備方法。傳感器在工業(yè)中有廣泛的應(yīng)用，如石化，汽車，航空航天和國(guó)防，航天，消費(fèi)類電子產(chǎn)品等。有效的監(jiān)測(cè)和控制不利的生產(chǎn)工藝，如溫度升高、大的熱通量、壓力變化等，是至關(guān)重要的。這樣的應(yīng)用程序...

本發(fā)明涉及傳感器，具體是一種單軸高沖擊加速度傳感器及其制造方法。隨著武器智能化程度提高，精確打擊武器越來越受到各個(gè)國(guó)家的重視，高沖擊傳感器可以使這些武器具有自動(dòng)識(shí)別目標(biāo)類型的功能，從而在武器爆炸引信中起到至關(guān)重要的作用。國(guó)外對(duì)此研究開展的比較早，已推出各種量程、類型的高沖擊加速度傳...

本公開涉及磁性粘附，并且更具體地涉及在封裝之前提供材料對(duì)表面的虛擬粘附的方法。碳納米管(cnt)是具有圓柱形納米結(jié)構(gòu)的碳的同素異形體。它們具有不同尋常的性質(zhì)，諸如特殊的強(qiáng)度和剛度，因此在各個(gè)領(lǐng)域，包括但不限于納米技術(shù)、電子學(xué)、光學(xué)和材料科學(xué)與技術(shù)的其他領(lǐng)域都具有價(jià)值。在一個(gè)或多個(gè)中...

本發(fā)明涉及一種用于具有傾斜的光學(xué)窗的微機(jī)械設(shè)備的制造方法和相應(yīng)的微機(jī)械設(shè)備。雖然也可以應(yīng)用任意的光學(xué)設(shè)備和系統(tǒng)，但本發(fā)明和基于本發(fā)明的問題參照光學(xué)微機(jī)械微鏡掃描器設(shè)備進(jìn)行闡釋。微機(jī)械mems構(gòu)件必須針對(duì)有害的外部環(huán)境影響(例如濕氣、侵蝕性介質(zhì)等)受到保護(hù)。同樣必要的是針對(duì)機(jī)械觸碰/損害以及...

本發(fā)明涉及納米孔，更具體地說，它涉及固態(tài)納米孔制造方法和包括固態(tài)納米孔的傳感器。納米孔是指一種二維材料上的直徑在納米尺度的孔。含有納米孔的器件通常會(huì)置于溶液環(huán)境中，將溶液隔開成兩個(gè)部分，二而納米孔是連接兩邊溶液的唯一通道。當(dāng)外置電壓加載溶液兩端時(shí)，溶液中的離子、帶電分子和顆粒等就會(huì)...

本發(fā)明屬于微納加工，更具體地，涉及一種基于馬蘭哥尼對(duì)流操控的納米孔陣列及其可控加工方法和應(yīng)用。近年來，隨著納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，固態(tài)納米孔以其性能穩(wěn)定、幾何形狀可控、具有良好的魯棒性等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于基因測(cè)序、能量轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域。單孔納米孔加工技術(shù)目前已經(jīng)比較成熟，但是要滿足諸如基因測(cè)...

本發(fā)明屬于有機(jī)半導(dǎo)體，更具體地，涉及一種t型懸臂梁微結(jié)構(gòu)及其加工方法和應(yīng)用。硅是廣泛應(yīng)用于微電子/納米電子機(jī)械系統(tǒng)中的半導(dǎo)體材料，以硅為基底加工出超雙疏表面(同時(shí)具備超疏水和超疏油特性)，能有效地控制其表面層的潤(rùn)濕性、粘著力、耐磨性和防油污黏附等性能，具有廣泛的應(yīng)用前景。研究表面，...

本發(fā)明涉及傳感，特別涉及一種扭矩傳感器及其制造方法。基于mems(micro-electro-mechanicalsystem,微機(jī)電系統(tǒng))的扭矩傳感器得到廣泛使用，例如助力式電動(dòng)自行車采用扭矩傳感器，人踩腳踏板產(chǎn)生的力矩通過電動(dòng)自行車的轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)換成扭矩，扭矩的大小反饋到電動(dòng)自行車...