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微觀裝置的制造及其處理技術(shù)
  • 一種半導(dǎo)體芯片的制造方法與流程
    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體芯片的制造方法。隨著4g/5g應(yīng)用的普及,消費(fèi)者對電子產(chǎn)品功能多樣化需求大大提高。mems器件作為一種復(fù)雜性的元件,用來實現(xiàn)更多功能,在消費(fèi)類電子應(yīng)用中起著重要作用。濾波器作為一種選頻元件,用來抑制噪聲、選擇或限定rf/微波信號的頻段范圍,在許多rf...
  • 一種手性納米火山陣列薄膜和手性中空納米球殼結(jié)構(gòu)及其平行制備方法與流程
    本發(fā)明屬于手性材料制備,具體涉及一種具有手性旋光性質(zhì)的手性納米火山陣列薄膜和手性中空納米球殼結(jié)構(gòu)及其平行制備方法。手性結(jié)構(gòu),指一個結(jié)構(gòu)的鏡像不能與其原結(jié)構(gòu)完全重疊。這一領(lǐng)域在近十年來引起了廣泛關(guān)注[1-4]。與天然手性材料不同,人工手性材料具有較強(qiáng)的圓二色性(cd)和旋光色散性(o...
  • 一種大面積高耐用性超疏水表面結(jié)構(gòu)的制備方法及其產(chǎn)品與流程
    本發(fā)明屬于微納結(jié)構(gòu)相關(guān),更具體地,涉及一種大面積高耐用性超疏水表面結(jié)構(gòu)的制備方法及其產(chǎn)品。近年來,隨著微納制造技術(shù)、材料制備技術(shù)的發(fā)展,超疏水表面的研究得到逐漸深入,其應(yīng)用得到更廣的拓展。超疏水表面具有防污、防腐、自清潔、防附著、減少阻力等功能,能夠用于航天軍工,交通工具、農(nóng)業(yè)、建...
  • 一種鍵合設(shè)備、鍵合系統(tǒng)和鍵合方法與流程
    本發(fā)明實施例涉及硅片鍵合,尤其涉及一種鍵合設(shè)備、鍵合系統(tǒng)和鍵合方法。硅片鍵合技術(shù)在微電子機(jī)械系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems,mems)技術(shù)中有著重要的地位。常見的硅片鍵合技術(shù)包括硅/玻璃陽極鍵合,硅/硅直接鍵合(熱鍵合技術(shù)),共晶焊料鍵合,玻璃焊料...
  • 一種用于轉(zhuǎn)移器官芯片中多孔PDMS薄膜的方法與流程
    本發(fā)明涉及微加工,尤其是涉及一種用于轉(zhuǎn)移器官芯片中多孔pdms薄膜的方法。人體器官芯片如肺器官芯片模型,主要包含上下層通道模塊以及中間夾雜一層pdms多孔薄膜??捎糜谠隗w外模擬與人體相關(guān)的組織和器官微環(huán)境中的細(xì)胞行為,對于人類生理病理學(xué)研究具有十分重要的意義。因此對于該器官芯片的模...
  • 具有微納結(jié)構(gòu)陣列的復(fù)合薄膜的制備方法與流程
    本發(fā)明涉及有機(jī)-無機(jī)復(fù)合薄膜上的微納結(jié)構(gòu)陣列制備,具體涉及一種具有微納結(jié)構(gòu)陣列的復(fù)合薄膜的制備方法。有機(jī)電致發(fā)二極管(oled)具有自發(fā)光、視角廣、反應(yīng)速度快、對比度高、低能耗、綠色環(huán)保、壽命長、可柔性顯示等特點,被認(rèn)為是繼lcd后的新一代照明和顯示技術(shù),然而由于受ito與玻璃基底和玻璃基...
  • 晶圓結(jié)構(gòu)及晶圓加工方法與流程
    本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域,更具體地,涉及一種晶圓結(jié)構(gòu)及晶圓加工方法。半導(dǎo)體集成電路的制造,需要先對晶圓(wafer)進(jìn)行加工,其中,晶圓通常為6英寸、8英寸或12英寸的圓形或類圓形晶片;晶圓加工包括晶圓結(jié)構(gòu)的制造和切割。具體地,晶圓結(jié)構(gòu)的制造是在晶圓上層疊絕緣膜和功能膜以形成陣列排布有多個...
  • 微機(jī)電系統(tǒng)接觸器彈簧的制作方法
    本申請案的實施例涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)接觸器彈簧。微機(jī)電系統(tǒng)(mems)可包含例如致動器、開關(guān)、電動機(jī)、傳感器、可變電容器及空間光調(diào)制器(slm)等的裝置。mems裝置可制造在襯底上。為保護(hù)此類裝置,在制造期間在襯底上形成側(cè)壁以形成可密封空腔,使得空腔內(nèi)的結(jié)構(gòu)及裝置可與外部環(huán)境相對隔離。然而,...
  • 極紫外光與等離子體復(fù)合原子尺度加工方法與流程
    本發(fā)明屬于原子及近原子尺度制造領(lǐng)域,涉及極紫外光技術(shù)及等離子體刻蝕技術(shù),尤其是一種極紫外光與等離子體復(fù)合原子尺度加工方法。信息、能源、材料等高中關(guān)鍵元器件的性能取決于其精度,而高精度的實現(xiàn)需要先進(jìn)的制造技術(shù)予以保證。以集成電路芯片為例,從二十世紀(jì)七十年代以來至今,單位面積內(nèi)的晶體管...
  • 一種基于懸空掩模和生長薄膜法制備大面積可控納米溝道的方法與流程
    本發(fā)明涉及電子通訊,特別涉及一種基于懸空掩模和生長薄膜法制備大面積可控納米溝道的方法。近年來,隨著微納科技的迅速發(fā)展,納米技術(shù)已經(jīng)廣泛的應(yīng)用于材料和制備、集成電路過程和計算機(jī)技術(shù)、航天與航空、以及生物技術(shù)等領(lǐng)域,其中納米溝道是一種極具有應(yīng)用價值的納米結(jié)構(gòu),其溝道尺寸設(shè)計很多研究領(lǐng)域...
  • 一種彎曲應(yīng)變增強(qiáng)的紫外光電位置傳感器及其制備方法與流程
    本發(fā)明屬于光電位置傳感器領(lǐng)域,具體涉及一種彎曲應(yīng)變增強(qiáng)的紫外光電位置傳感器及其制備方法。光電傳感器通過光電轉(zhuǎn)化實現(xiàn)光學(xué)信號與電信號的轉(zhuǎn)化,是光電轉(zhuǎn)換的核心器件之一,已經(jīng)應(yīng)用于現(xiàn)代工業(yè)和日常生活中的各個領(lǐng)域。光電位置傳感器是一種對入射光斑位置敏感的光電傳感器,其輸出信號與光斑在光敏面上的位置...
  • 一種具有散熱結(jié)構(gòu)的微機(jī)電系統(tǒng)元器件封裝裝置的制作方法
    本實用新型涉及微機(jī)電系統(tǒng),具體為一種具有散熱結(jié)構(gòu)的微機(jī)電系統(tǒng)元器件封裝裝置。微機(jī)電系統(tǒng),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統(tǒng),微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,元器件是微...
  • 力熱耦合微機(jī)電系統(tǒng)及原位力學(xué)平臺的制作方法
    本實用新型涉及高溫微納實驗力學(xué)裝置,尤其涉及一種力熱耦合微機(jī)電系統(tǒng)及原位力學(xué)平臺。原位觀察技術(shù)在透射電子顯微學(xué)研究中是當(dāng)今的研究熱點。通過在樣品上施加各種物理作用,例如電、磁、力、熱等外部激勵,利用透射電子顯微鏡(transmissionelectronmicroscope,簡稱t...
  • 一種微納跨尺度聚合物噴針的制造方法與流程
    本發(fā)明屬于微機(jī)電研究領(lǐng)域,特別是涉及一種微納跨尺度聚合物噴針的制造方法?;陔娨簞恿?ehd)微納尺度3d打印在成本、效率、可控性、打印面積等方面顯示出突出的優(yōu)勢和潛能,已經(jīng)實現(xiàn)亞微尺度復(fù)雜三維微結(jié)構(gòu)的制造,并且在微血管、微型燃料電池、超材料、柔性電子等領(lǐng)域開展了初步工業(yè)化應(yīng)用。電液動力射...
  • 微機(jī)電系統(tǒng)及其制造方法與流程
    本發(fā)明一些教示涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)及其制造方法。對于半導(dǎo)體制造(尤其是微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electromechanicalsystems,mems)的制造)的許多情況,期望將單獨制造的裝置接合到半導(dǎo)體襯底上。mems的應(yīng)用范圍很廣泛。舉例來說,mems出現(xiàn)在如下裝置中:手持式裝置(例如...
  • 傳感器封裝結(jié)構(gòu)及傳感器封裝工藝的制作方法
    本發(fā)明涉及芯片封裝,特別涉及一種傳感器封裝結(jié)構(gòu)及傳感器封裝工藝。mems傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)(microelectromechanicalsystems),mems傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。在各類穿戴設(shè)備,人們對于電子產(chǎn)品多功能化,多種傳感器件功能,元件...
  • 一種驅(qū)動-黏附一體化復(fù)合結(jié)構(gòu)及制備方法與流程
    本發(fā)明涉及功能材料領(lǐng)域,具體涉及一種驅(qū)動-黏附一體化復(fù)合結(jié)構(gòu)及制備方法。干黏附技術(shù)相比濕黏附、真空吸附、磁吸附、靜電吸附等技術(shù),具有對目標(biāo)表面形貌適應(yīng)性強(qiáng)、接觸無損傷無污染、不受真空環(huán)境影響等特點,此外,由于干黏附技術(shù)是通過范德華力產(chǎn)生黏附作用,因此可多次重復(fù)使用。目前,研究者廣泛將干黏附...
  • 一種二維MXene功能化的InxGa1-xN納米柱的制作方法
    本實用新型涉及inxga1-xn納米柱、能源與催化領(lǐng)域,特別涉及一種二維mxene功能化的inxga1-xn納米柱。光電化學(xué)(photoelectrochemical,pec)分解水制氫能夠?qū)⑻柲苡行У剞D(zhuǎn)換和存儲為清潔的、可再生的氫能,是解決目前的能源危機(jī)最為有前景的手段之一。近年來,三...
  • 一種基于臨時懸梁結(jié)構(gòu)實現(xiàn)微間隙裝配的工藝方法與流程
    本發(fā)明涉及微機(jī)械工藝與微組裝,具體涉及一種基于臨時懸梁結(jié)構(gòu)實現(xiàn)微間隙裝配的工藝方法。隨著微機(jī)械技術(shù)的發(fā)展,微型傳感器芯片對精細(xì)化、復(fù)雜化結(jié)構(gòu)有了更大的需求。其中微間隙結(jié)構(gòu)單元主要應(yīng)用在諧振式陀螺儀、電容傳感器、集成光學(xué)芯片等領(lǐng)域,用于形成微電容或特定光學(xué)界面。在上述領(lǐng)域中,微間隙結(jié)...
  • 一種仿生可控吸附的制備方法與流程
    本發(fā)明屬于微納工程中仿生微結(jié)構(gòu)制造,具體涉及一種基于連續(xù)傾斜楔形微結(jié)構(gòu)陣列的仿生可控吸附的制備方法。壁虎腳掌可控吸附系統(tǒng)是當(dāng)前自然界中已知的最通用、最有效的生物功能吸附系統(tǒng),其獨特的多尺度分層剛毛纖維基于范德華力交互不僅賦予了壁虎腳掌強(qiáng)大的吸附力,而且還賦予了其獨特的吸附特性,進(jìn)而...
技術(shù)分類