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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件，具體涉及一種基于硅基c-sic的單片異質(zhì)集成結(jié)構(gòu)及其制備方法。、電子系統(tǒng)正朝著小型化、多樣化、智能化的方向發(fā)展，旨在形成具有感知、通信、處理、傳輸?shù)榷喙δ芪⑾到y(tǒng)。微系統(tǒng)的核心技術(shù)在于集成，三維異質(zhì)異構(gòu)集成逐漸成為從芯片制造到系統(tǒng)集成的連接紐帶；在這種集成方式下，不同的...

本公開涉及具有防潮接觸墊的微機電器件及其制造方法。特別地，所考慮的慣性mems器件包括一個或多個慣性傳感器，諸如加速計和/或陀螺儀，該慣性傳感器形成在至少一個硅結(jié)構(gòu)層中并且限定至少一個可移動結(jié)構(gòu)?？梢苿咏Y(jié)構(gòu)通常在延伸平面中具有主延伸部，并且在平面內(nèi)或平面外可移動。、眾所周知，這種類型的慣性...

本發(fā)明涉及觸覺傳感器，特別涉及一種雙螺旋觸覺傳感器及其制備方法。、觸覺傳感器作為人機交互界面具有交互過程準(zhǔn)確、反應(yīng)速度快等無法替代的優(yōu)勢。受限于傳感器供能方式，目前觸覺傳感器主要分為兩類：通過有線方式進行供電的觸覺傳感器和基于電池式的觸覺傳感器。然而，通過有線方式進行供電的觸覺傳感器存在線...

本發(fā)明涉及納米材料，具體涉及一種空間工程化微球陣列、制備方法及其sers應(yīng)用。、復(fù)眼結(jié)構(gòu)在表面增強拉曼散射(surface?enhancement?of?raman?scattering，sers)檢測中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，應(yīng)用潛力巨大。從基底構(gòu)建層面而言，其獨特的由眾多小眼構(gòu)成的結(jié)構(gòu)能...

本發(fā)明屬于化合物半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體涉及一種基于硅基c碳化硅的異質(zhì)集成器件及其制備方法。、激光雷達的光束掃描方式，按照是否包含機械部件可分為：機械式掃描、混合固態(tài)式掃描及全固態(tài)式掃描。混合固態(tài)式激光雷達包括微機電系統(tǒng)（microelectromechanicalsystems,?mems）...

本申請涉及氣體傳感器，更具體地，涉及一種mems芯片及其制備方法和氣體傳感器。、相關(guān)技術(shù)中，設(shè)備的氣體泄漏，會對我們的身體健康、生活質(zhì)量、生命安全和工業(yè)過程的運行產(chǎn)生影響。例如，部分冷媒氣體具有易燃、易爆的特性，所以對此類冷媒泄漏的實時檢測變得異常重要。、而目前一般采用的電容式氣體傳感器大...

本申請屬于微納制造領(lǐng)域，具體涉及一種高精度大面積超薄鏤空硬掩膜的制備方法。、鏤空硬掩膜技術(shù)，是一種先進的微納加工方法，它通過使用具有精確定義孔洞的硬質(zhì)掩膜實現(xiàn)材料的直接沉積或轉(zhuǎn)移，以形成微米至納米尺度的圖案。該技術(shù)以其無需使用光敏抗蝕劑、可重復(fù)使用性以及高吞吐量的特點，為微納制造領(lǐng)域提供了...

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造，具體涉及一種堆疊式mems光電傳感器的封裝結(jié)構(gòu)及制造方法。、目前，mems（微機電系統(tǒng)）光電傳感器技術(shù)憑借其微型化、高精度與高性能的特點，在小家電、智能穿戴設(shè)備以及其他眾多高科技領(lǐng)域得到了越來越廣泛的應(yīng)用。在這一廣闊的應(yīng)用場景中，應(yīng)用較為廣泛的mems光電傳感器產(chǎn)品主...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種真空器件的制備方法、真空器件及電子設(shè)備。、隨著科技的發(fā)展，真空器件成為了微電機系統(tǒng)(mems，micro?electro?mechanicalsystems)主流產(chǎn)品之一，例如慣性測量單元(imu，inertial?measurement?unit)是...

本發(fā)明涉及一種用于形成用于布置在半導(dǎo)體層堆疊內(nèi)的空腔的鉆孔的方法。同樣地，本發(fā)明涉及一種用于將壓力和/或介質(zhì)封裝在布置在半導(dǎo)體層堆疊內(nèi)的空腔中的方法。另外，本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體層堆疊。、在de?????a中描述一種用于用大氣填充中空空間的方法。布置在半導(dǎo)體層堆疊內(nèi)的中空空間事后被填充，其方...

本發(fā)明涉及微機電，具體涉及一種基于植物絨毛的微納米噴針制造方法及微納米噴針。、隨著微納米技術(shù)的快速發(fā)展和微納噴針的廣泛應(yīng)用，亟待開發(fā)低成本、高精度微納噴針。、現(xiàn)有技術(shù)中，微納噴針可使用加熱拉伸法制造，通過對材料進行加熱拉伸獲得微納米尺度的噴針，該方法操作工藝簡單，但噴針尺寸難以精確控制，易...

本發(fā)明涉及氣體流量檢測技術(shù)利用，具體涉及一種氣體質(zhì)量流量傳感器加工方法。、“智能能源網(wǎng)”工程的推進首先就需要實現(xiàn)水電氣等能源的智能化計量，組建智能能源網(wǎng)絡(luò)。而燃氣的智能化計量就需要研發(fā)兼容物聯(lián)網(wǎng)的智能燃氣流量計量傳感器。、基于熱溫差原理的mems傳感器利用氣體氣流流經(jīng)加熱電阻時會吸收熱量從...

本公開涉及用于封閉微機械裝置的通氣孔的激光密封方法。在一些特定實施例中，激光在不同時間處施加多個單獨的激光輪廓。、各種微機械裝置(例如，微機電系統(tǒng)(mems)、慣性測量單元(imu)等)包括通向包含封裝裝置的腔室的通氣孔開口。近年來，已經(jīng)利用脈沖激光照射技術(shù)來密封通氣孔開口。該技術(shù)包括密封...

本發(fā)明屬于微納制造及傳熱應(yīng)用，具體涉及加強低溫流體沸騰換熱的微納復(fù)合結(jié)構(gòu)、加工方法及應(yīng)用。、低溫流體具有低沸點、低粘度、低表面張力等獨特的物理性質(zhì)，在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中都有著廣泛應(yīng)用。在超導(dǎo)研究領(lǐng)域，常使用液氮池沸騰來快速降低材料溫度，使其進入超導(dǎo)狀態(tài)。在航空航天領(lǐng)域，低溫流體如液氫、液...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制備領(lǐng)域，尤其涉及一種降低壓力傳感器制造成本的方法及壓力傳感器。、mems(微電子機械系統(tǒng))壓力傳感器的制備通常涉及多個復(fù)雜的工藝步驟，包括光刻、蝕刻、薄膜沉積、封裝等，其中需要用到多道光罩。、然而，在當(dāng)前mems壓力傳感器的制造過程中，由于制備流程復(fù)雜和生產(chǎn)成本高昂，...

本申請涉及mems，具體而言，涉及一種壓電式mems加速度計及制備方法。、壓電式mems加速度計的工作原理：振動時，質(zhì)量塊受到與加速度方向相反的慣性力作用，壓電薄膜受到了來自質(zhì)量塊的正比于加速度的交變力作用，相應(yīng)的在電極上產(chǎn)生感應(yīng)電荷，通過電荷放大器轉(zhuǎn)化為電壓信號；當(dāng)處于遠離諧振頻率點的頻...

本發(fā)明涉及微納器件，尤其涉及一種反蜂窩狀剪紙結(jié)構(gòu)納米位移控制器及位移控制方法。、本世紀(jì)以來，低維材料的研究與應(yīng)用獲得突破性進展。這為器件的小型化奠定了基礎(chǔ)，納米機電系統(tǒng)結(jié)合了微機電系統(tǒng)的設(shè)計原理和納米材料的尺度效應(yīng)，旨在實現(xiàn)更高效的信號處理、能量轉(zhuǎn)換和物質(zhì)傳輸。目前，納米機電系統(tǒng)設(shè)計現(xiàn)已成...

本發(fā)明是關(guān)于一種微機電系統(tǒng)元件，尤其系指一種設(shè)有止擋件的微機電系統(tǒng)元件。、由于微機電系統(tǒng)(microelectromechanical?systems，mems)技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體技術(shù)整合機械元件與電路所制造出的微機電系統(tǒng)元件，具有低成本與體積緊湊等優(yōu)點，在現(xiàn)今消費電子行業(yè)中被大量采用...

本申請涉及mems，具體而言，涉及一種壓電式mems加速度計的感應(yīng)電壓調(diào)值方法。、壓電式mems加速度計的工作原理：振動時，質(zhì)量塊受到與加速度方向相反的慣性力作用，懸梁形變，位于懸梁上的壓電薄膜也發(fā)生應(yīng)變，相應(yīng)的在上下電極上產(chǎn)生感應(yīng)電荷，由于c＝q/v，在電容一定時，感應(yīng)電壓信號與感應(yīng)電荷...

本發(fā)明涉及cmos-mems芯片領(lǐng)域，具體是一種具有熱解耦結(jié)構(gòu)的cmos-mems單片集成熱電堆紅外探測器。、熱電堆紅外探測技術(shù)作為一種非接觸式溫度測量方法，其是通過測量紅外輻射引起的溫差來實現(xiàn)對物體表面溫度的精確測定，憑借其高靈敏度、快速響應(yīng)和寬量程等優(yōu)點，在眾多領(lǐng)域展現(xiàn)出重要價值。、目...