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本發(fā)明屬于微型智能電子，具體涉及一種集成機(jī)械能收集與振動檢測功能的微器件及其制備方法。集成振動信號高精度檢測與機(jī)械能高效俘獲功能的微型器件是整體提升微型智能電子裝備感知和續(xù)航能力的關(guān)鍵，現(xiàn)有的設(shè)計原理和制備方法難以實現(xiàn)。因此，針對上述技術(shù)問題，有必要提供一種集成機(jī)械能收集與振動檢測...

本發(fā)明涉及一種基于絕緣體上硅的低應(yīng)力硅基厚膜及其制備方法，屬于半導(dǎo)體制備。絕緣體上硅(silicon-on-insulator，soi)技術(shù)因具有功耗低、速度高、寄生電容小、抗輻照能力強(qiáng)等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于衛(wèi)星、電子、計算機(jī)、航空航天等領(lǐng)域。根據(jù)器件層厚度的不同，沉積的膜層可分為厚...

本案關(guān)于一種微流體致動器模塊的制造方法，尤指一種使用微機(jī)電面型及體型加工制程的微流體致動器模塊的制造方法。目前于各領(lǐng)域中無論是醫(yī)藥、電腦科技、打印、能源等工業(yè)，產(chǎn)品均朝精致化及微小化方向發(fā)展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業(yè)打印裝置等產(chǎn)品所包含的流體致動器為其關(guān)鍵技術(shù)。隨著科技的日新月異，...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)器件領(lǐng)域，具體涉及一種用于調(diào)控p-si/n-zno薄膜異質(zhì)結(jié)電學(xué)性能和光電輸出的方法。半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)器件可以廣泛應(yīng)用于電子器件、光伏電池、集成電路以及探測傳感等領(lǐng)域，應(yīng)用場景極為廣闊。壓電電子學(xué)和壓電光電子學(xué)是近年來發(fā)展的用于調(diào)控異質(zhì)結(jié)器件電子學(xué)和光電子學(xué)性能的系統(tǒng)性理...

本發(fā)明涉及微機(jī)械部件。本發(fā)明還涉及形成層結(jié)構(gòu)的方法。de102007051537b4描述了光學(xué)多層鏡，其據(jù)稱可用作例如法布里-珀羅干涉儀（fabry-perot-interferometer）。所述多層光學(xué)鏡包括在襯底上方形成的下部鏡（spiegel）以及上部鏡，其中上部鏡與下部鏡隔開一定...

本案是關(guān)于一種微機(jī)電泵的制造方法，尤指一種透過半導(dǎo)體制程來制作微機(jī)電泵的制造方法。目前于各領(lǐng)域中無論是醫(yī)藥、電腦科技、打印、能源等工業(yè)，產(chǎn)品均朝精致化及微小化方向發(fā)展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業(yè)打印裝置等產(chǎn)品所包含的用以輸送流體的泵構(gòu)為其關(guān)鍵元件，是以，如何借創(chuàng)新結(jié)構(gòu)突破其技術(shù)瓶頸，...

本發(fā)明涉及結(jié)構(gòu)超滑領(lǐng)域，尤其涉及一種無邊緣凸起的金屬蓋石墨島及其制備方法。摩擦及其引發(fā)的磨損無時無刻不在影響著人類的生活，據(jù)統(tǒng)計，全球約有1/3的一次性能源浪費(fèi)在摩擦過程中，約80％的機(jī)械零部件失效由摩擦磨損所造成。早在二十世紀(jì)九十年代初，日本科學(xué)家m.hirano(平野元久)等(hira...

本發(fā)明涉及固體結(jié)構(gòu)超滑領(lǐng)域，尤其涉及一種大尺度、大滑移行程的結(jié)構(gòu)超滑器件及其制備方法。長期以來,摩擦和磨損問題,不但與制造業(yè)密切相關(guān),還與能源、環(huán)境和健康直接相關(guān)。據(jù)統(tǒng)計,全世界約三分之一的能源在摩擦過程中被消耗掉,約80％的機(jī)器零部件失效都是由磨損造成的。結(jié)構(gòu)超滑是解決摩擦磨損問題的理想...

本實用新型涉及一種用于團(tuán)簇束流沉積的超高真空腔體。在對納米材料進(jìn)行團(tuán)簇束流沉積實驗中，必須用到超高真空腔體來構(gòu)建一個真空密閉的實驗空間，現(xiàn)有的超高真空腔體體積大，重量重，移動較為不便，而且法蘭接口的布置較為雜亂，導(dǎo)致操作也較為不便，有待于進(jìn)一步改進(jìn)。實用新型內(nèi)容針對上述現(xiàn)有技術(shù)的現(xiàn)狀，本實...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓減薄方法。mems制造工藝（microfabricationprocess）與鍵合（bond）工藝相結(jié)合形成空腔結(jié)構(gòu)后，需要對所得結(jié)構(gòu)進(jìn)行減薄處理。而目前傳統(tǒng)的研磨（grind）設(shè)備值配備ncg（nanochannelglass，納米通道玻璃）紅外檢...

本發(fā)明涉及一種加工微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的裝置及方法，尤其是一種基于針尖軌跡運(yùn)動加工微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的裝置及方法，屬于微納米機(jī)械加工。通過在金屬表面上加工出亞波長尺寸的光柵結(jié)構(gòu)，使表面具有能夠?qū)梢姽膺M(jìn)行分光的功能，進(jìn)而對金屬表面實現(xiàn)高反射強(qiáng)度、高分辨率的結(jié)構(gòu)著色，這在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用上展現(xiàn)出...

本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)（mems,micro-electro-mechanicalsystem），特別涉及一種mems芯片及mems傳感器。mems麥克風(fēng)傳感器已廣泛的應(yīng)用于各種可攜式行動裝置，例如移動電話，用戶對移動電話的要求已不僅滿足于通話，而且要求能夠提供高質(zhì)量的通話效果，尤其...

本發(fā)明屬于納米材料領(lǐng)域，具體涉及一種石墨烯薄膜襯底的制備方法及其應(yīng)用。石墨烯是一種由碳原子通過sp2軌道雜化構(gòu)成的具有六角蜂窩結(jié)構(gòu)且只有單原子層厚度的二維晶體材料，石墨烯擁有優(yōu)異的物理、化學(xué)性質(zhì),如，室溫下亞微米載流子平均自由程、高載流子遷移率、分?jǐn)?shù)量子霍爾效應(yīng)、高透光率和機(jī)械強(qiáng)度等。襯底...

本發(fā)明涉及微電子，特別是一種pt對稱側(cè)動微機(jī)電系統(tǒng)。在1998年，美國華盛頓大學(xué)的c.m.bender教授提出了一種pt對稱的哈密頓量，該哈密頓量不具有厄米性，但也同樣有實解。這里的p和t分別代表了宇稱（parity）變換和時間（time）變換。在bender教授提出pt對稱概念后...

本申請屬于半導(dǎo)體，具體涉及一種氣敏傳感器及其制備方法。目前氣敏傳感器使用的都是微電機(jī)系統(tǒng)mems工藝制作方法，其具體過程包括：將氣敏芯片和其他元器件并排貼裝到電路板pcb上。上述工藝過程導(dǎo)致氣敏傳感器尺寸較大，集成度不高；且氣敏芯片在貼裝過程中可能會受到其他元器件的影響，可能出現(xiàn)污...

本發(fā)明屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)（mems），涉及一種雙懸臂梁波導(dǎo)耦合光電式mems觸覺傳感器及其制作方法。機(jī)器人感知能力的技術(shù)研究中，觸覺類傳感器極其重要，已成為目前的研究熱點(diǎn)之一。作為機(jī)器人觸覺傳感器的重要類型，光傳感式觸覺傳感器具有分辨率高、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。然而，目前已有的光傳感式...

本發(fā)明涉及納米材料，尤其涉及一種微米級定點(diǎn)定位納米材料轉(zhuǎn)移方法。在構(gòu)筑新型功能材料納米器件中，通過兩種納米材料結(jié)合形成異質(zhì)結(jié)構(gòu)是一種常見的方法。然而，隨著功能材料尺寸的減小，構(gòu)建異質(zhì)結(jié)構(gòu)變得更加困難。目前，主要有“自下而上”和“自上而下”兩種路徑來構(gòu)建異質(zhì)結(jié)構(gòu)?！白韵露稀钡耐緩街?..

本申請涉及微結(jié)構(gòu)陣列制作工藝領(lǐng)域，具體而言，涉及一種微結(jié)構(gòu)制備裝置及方法。隨著微納加工技術(shù)的迅速發(fā)展，表面微結(jié)構(gòu)化成為改善材料潤濕性、減摩耐磨性、比表面積率、以及生物相容性的重要手段。由于表面微結(jié)構(gòu)化的應(yīng)用越來越廣泛，各種加工微結(jié)構(gòu)的方法陸續(xù)的被提出并應(yīng)用于生產(chǎn)中。目前常用的傳統(tǒng)微結(jié)構(gòu)陣列...

本發(fā)明涉及微納加工領(lǐng)域，具體涉及一種基于聚對二甲苯微機(jī)電系統(tǒng)工藝(parylenemems工藝)的硅基微納結(jié)構(gòu)柔性化加工方法。隨著電子設(shè)備向可穿戴、可植入和人機(jī)交互等智能化方向的逐步發(fā)展，傳統(tǒng)的剛性電子器件正尋求著柔性化加工方法。應(yīng)運(yùn)而生的柔性電子技術(shù)融合了材料學(xué)、力學(xué)、微電子學(xué)、仿生學(xué)等...

優(yōu)先權(quán)要求本申請要求2019年03月22日提交的意大利專利申請102019000004199的優(yōu)先權(quán)，其內(nèi)容在法律允許的最大范圍內(nèi)通過引用以其整體并入本文。本公開涉及一種使用微機(jī)電系統(tǒng)(mems)技術(shù)來構(gòu)造的利用壓電致動的雙軸線諧振微機(jī)電反射鏡結(jié)構(gòu)。微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其在下文中被稱為“mems結(jié)...