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本發(fā)明涉及基因檢測領(lǐng)域，特別涉及一種硅基固態(tài)納米孔及制備方法、硅基固態(tài)納米孔測序儀。納米孔測序是在電解質(zhì)溶液中，使用電泳法把一個未知的樣品傳輸并通過直徑為納米級的穿孔。當(dāng)在納米孔的兩端施加恒定電場，觀察納米孔測序儀中的電流。硅基固態(tài)納米孔表面的電流密度取決于納米孔的尺寸以及占據(jù)納米孔的dn...

本發(fā)明涉及領(lǐng)域，尤其涉及，具體為一種制備水下新型展向溝槽微結(jié)構(gòu)減阻表面的方法，可有效降低航行體在水中航行時(shí)表面的摩擦阻力，屬于機(jī)械工程表面處理技術(shù)與流體動力學(xué)。海上航運(yùn)依然是現(xiàn)代重型貨物的主要長途運(yùn)載方式，尤其是航運(yùn)在石油、天然氣、煤炭等能源的運(yùn)輸。貨輪等航行體在海上運(yùn)行時(shí)，水對船...

本發(fā)明涉及一種用于制造光子晶體，特別是合成蛋白石的方法和設(shè)備。本發(fā)明的方面涉及用于制備在制造光子晶體中使用的液體分散體的方法和設(shè)備、通過該方法制備的液體分散體、使用液體分散體制備光子晶體的方法、用于制備光子晶體的模具，以及使用該模具制備光子晶體的方法。已知使用一種工藝來生產(chǎn)合成蛋白石，其中...

本發(fā)明涉及作為工業(yè)部件的使用優(yōu)異的晶體取向控制復(fù)合體。納米級的晶質(zhì)材料(納米晶體材料)在催化劑等各種領(lǐng)域中被廣泛使用。近年來，對于納米晶體材料而言，作為具有納米級粒徑的納米顆粒，正在積極地進(jìn)行進(jìn)一步的微細(xì)化、活性面的控制等研究。例如，專利文獻(xiàn)1中提出了一種納米單晶板材集聚催化劑、即所謂納米...

本發(fā)明涉及一種內(nèi)插器襯底、mems設(shè)備以及相應(yīng)的制造方法。雖然可以應(yīng)用于任意的微機(jī)械設(shè)備和系統(tǒng)，但本發(fā)明和基于本發(fā)明的問題參照微鏡設(shè)備進(jìn)行闡釋。具有相應(yīng)的驅(qū)動部的微鏡設(shè)備例如由de102012219591a1、de102010062118a1和wo2013/091939a1已知。wo200...

本發(fā)明涉及一種固定流導(dǎo)元件制作及其密封方法，特別是一種基于共晶鍵合的固定流導(dǎo)元件的密封方法。共晶鍵合是mems器件制作及其封裝的常用方法，在一定溫度下，不同或同種金屬鍵合面之間的原子在一定力的作用下，形成原子間的作用力或者形成合金化合物，達(dá)到一種結(jié)構(gòu)性強(qiáng)，密封性能好的鍵合面。金、銀、銦、錫...

本發(fā)明涉及微電子，特別涉及一種具有背腔結(jié)構(gòu)的器件及其形成方法。在微電子中，常常涉及具有背腔結(jié)構(gòu)的器件(例如，mems器件、微加熱板器件等)。針對具有背腔結(jié)構(gòu)的器件而言，在制備其背腔結(jié)構(gòu)時(shí)通常是從襯底的背面進(jìn)行刻蝕以形成的。參考圖1～圖3所示，其中圖1～圖3為一種在制備具有背...

本發(fā)明屬于柔性電子與傳感器領(lǐng)域，涉及一種兼容高溫處理的雙面柔性電子器件及其集成制備方法，更具體地，涉及一種兼容高溫處理的雙面柔性電子光刻-印刷-剝離混合制造技術(shù)。柔性電子器件，例如壓力傳感器，溫度傳感器，加熱器，能量捕獲器，柔性晶體管等在表皮電子，機(jī)器人皮膚，飛行器蒙皮等方面應(yīng)用廣泛。功能...

本發(fā)明屬于納米制造領(lǐng)域，具體涉及一種金屬和金屬合金納米結(jié)構(gòu)的裁剪方法，以及組裝納米器件并對其進(jìn)行表征的方法。通過調(diào)制金屬納米結(jié)構(gòu)的形狀可以顯著改善其在光、電、磁、催化等方面的性能，因而在電池，催化，光學(xué)，傳感，表面物理化學(xué)等方面有著廣泛的應(yīng)用。傳統(tǒng)的調(diào)制金屬納米結(jié)構(gòu)的形狀以及制備基于金屬納...

本發(fā)明涉及刻蝕，尤其涉及一種深腔刻蝕方法。在微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件成型工藝中，需要進(jìn)行具有臺階的深腔刻蝕。刻蝕需要在基體表面涂覆光刻膠。該種深腔具有臺階深度差，若僅通過旋涂工藝涂布光刻膠，光刻膠在旋涂過程中受流動性和重力的影響，趨于聚集在基底表面的最低點(diǎn)，導(dǎo)致基底表面涂膠不均勻...

本發(fā)明屬于微納光學(xué)，具體涉及一種柔性薄膜附加均勻徑向預(yù)緊力的高平面度固定方法。柔性薄膜材料如聚酰亞胺(pi)、聚對萘二甲酸乙二醇酯(pet)、聚碳酸酯(pc)等，具有重量輕、光學(xué)性能良好、易復(fù)制加工、成本較低等優(yōu)點(diǎn)，因此作為襯底材料被廣泛地應(yīng)用到微納光學(xué)中。但是，由于柔性薄...

本發(fā)明涉及微納機(jī)電系統(tǒng)(mems)傳感器，尤其涉及一種基于硅鋁異質(zhì)結(jié)構(gòu)的微壓探測壓力傳感器及其測量裝置。氣壓是氣象測量的一個重要因素，是壓力傳感器的一個重要應(yīng)用途徑，并且壓力傳感器的需求量程也出現(xiàn)了多樣化發(fā)展，不單單局限在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓周邊量程，在微壓測量方面也出現(xiàn)了許多應(yīng)用需求，這需...

本發(fā)明涉及一種組合式泵-傳感器布置，其中微型泵和傳感器共同集成在封裝件中，特別地涉及一種用于在共同的封裝件中使泵輔助傳感器小型化的概念。當(dāng)今，已知用于檢測各種分析物的多個不同的傳感器。這些傳感器有，例如氣體傳感器、濕度傳感器、細(xì)粉塵傳感器以及更多，其中當(dāng)今特別強(qiáng)調(diào)這些傳感器的便攜性。對便攜...

本實(shí)用新型涉及檢測裝置，尤其涉及一種mems慣性芯片封裝用引腳檢測裝置。引腳，又叫管腳，英文叫pin。就是從集成電路（芯片）內(nèi)部電路引出與外圍電路的接線，所有的引腳就構(gòu)成了這塊芯片的接口。引線末端的一段，通過軟釬焊使這一段與印制板上的焊盤共同形成焊點(diǎn)。引腳可劃分為腳跟（bottom...

本實(shí)用新型涉及傳感器，更為具體地，涉及一種多工能傳感器。mems的英文全稱為micro-electro-mechanicalsystem，中文名稱為微機(jī)電系統(tǒng)，是指尺寸在幾毫米甚至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，是一個獨(dú)立的智能系統(tǒng)。mems技術(shù)因具有微型化、智...

本申請一般涉及半導(dǎo)體，具體涉及一種mems封裝體的分選方法及分選系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electromechanicalsystem，mems)是一種基于微電子技術(shù)和微加工技術(shù)的高科技技術(shù)，是將機(jī)械構(gòu)件、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)、數(shù)字處理系統(tǒng)等集成所形成的微型單元。目前的mrms...

本發(fā)明的實(shí)施例涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種器件結(jié)構(gòu)及一種器件封裝方法，一種具有該器件結(jié)構(gòu)的濾波器，以及一種具有該濾波器或器件結(jié)構(gòu)的電子設(shè)備。圖1為已知體聲波諧振器的封裝結(jié)構(gòu)的截面示意圖。圖1中，10為器件基底，11和21為金屬粘接層，12和22為鍵合金屬金，20為封裝基底，30為mems器...

本發(fā)明涉及微納器件制作的一種納米光柵制作方法，具體涉及一種高深寬比納米光柵的制作方法。納米壓印技術(shù)，最早由stephenychou教授在1995年率先提出，是微納米器件制作工藝中的一個重要技術(shù)，這是一種不同與傳統(tǒng)光刻技術(shù)的全新圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)，納米壓印技術(shù)不使用光線或者輻照使光刻膠感光...

本發(fā)明涉及微納加工，尤其涉及一種用于控制液滴形狀的薄膜及其制備方法與應(yīng)用。通常所見的液滴的形狀一般是肉眼可見的毫米級，接近球形，并且液滴越小，形狀就越接近球形。因?yàn)橐后w表面層具有表面張力，在表面張力的作用下，液面有收縮的趨勢，在體積相同的各種形狀的物體中，球形物體的表面積最小，所以...

本發(fā)明涉及微納制造領(lǐng)域，尤其涉及一種定向無源自驅(qū)動薄膜及其制備方法。自然界中存在許多具有各向異性表面結(jié)構(gòu)的生物，其表面表現(xiàn)出典型的對液體操控的方向性的差異，比如沙漠甲蟲，蜘蛛絲，仙人掌和豬籠草,由于其表面上特殊的微納結(jié)構(gòu)進(jìn)而展現(xiàn)了優(yōu)良的定向輸運(yùn)能力。近年來，表面微結(jié)構(gòu)的構(gòu)筑引起了廣泛的研究...