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本發(fā)明涉及一種減小過載沖擊力的方法、mems微結(jié)構(gòu)及mems器件，屬于mems微結(jié)構(gòu)。、mems器件與其它電子器件有諸多不同之處，其中mems器件有很多可動微結(jié)構(gòu)，如各種彈性支撐梁、梳齒、敏感質(zhì)量塊等微結(jié)構(gòu)。這些微結(jié)構(gòu)在過載沖擊的情況下，易受到破壞，尤其彈性支撐梁對應(yīng)力非常敏感，在振動和沖...

本申請涉及半導(dǎo)體，具體而言，涉及一種mems器件、懸臂梁結(jié)構(gòu)及其制備方法。、微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical?systems，mems)壓電懸臂梁作為mems器件和系統(tǒng)中關(guān)鍵的基本結(jié)構(gòu)，可以用于開關(guān)、諧振器、傳感器等。從結(jié)構(gòu)上看，請參照圖，mems壓電懸臂梁的一...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝，具體涉及一種zr基薄膜吸氣劑激活特性的簡易標(biāo)定方法。、在mems制造過程中，器件內(nèi)部不可避免地會引入多種氣體。這些氣體的存在可能會對mems器件的性能和可靠性產(chǎn)生不利影響。為了維持器件封裝后的真空度，保障其正常工作，吸氣劑的使用變得至關(guān)重要。吸氣劑能夠吸收真空器件中的...

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法。、mems(micro-electro-mechanical?system，微機電系統(tǒng))傳感器的核心器件一般通過較小尺寸深溝槽刻蝕工藝形成，刻蝕到犧牲層，然后通過干法或濕法釋放技術(shù)去除其下面的犧牲層，使功能層(一般包括梳齒結(jié)構(gòu)、質(zhì)量塊等...

本公開涉及半導(dǎo)體mems結(jié)構(gòu)及其形成方法。、微機電系統(tǒng)(mems)是一種將小型化的機械和機電元件集成在集成芯片上的技術(shù)。通常使用微制造技術(shù)制作mems器件。近年來，mems器件已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了廣泛的應(yīng)用。例如，mems器件在手持設(shè)備(例如，加速度計、陀螺儀、數(shù)字羅盤)、壓力傳感器(例如，碰撞傳感...

本發(fā)明涉及mems紅外光源，特指一種具有優(yōu)異長期可靠性的mems紅外光源及其制造方法。、mems紅外光源是近年來迅速發(fā)展的一種新型紅外輻射器件，它利用mems技術(shù)將微型加熱元件與光學(xué)結(jié)構(gòu)集成在硅基芯片上，通過電熱效應(yīng)產(chǎn)生高精度、可控的紅外輻射。相比傳統(tǒng)紅外光源（如鎢絲燈、激光二極管或熱輻射...

本申請涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，具體地說，是涉及一種多維度傳感器及其制備方法。、隨著時代的變遷，傳感器在各種應(yīng)用場景中被越來越多的使用，如已被應(yīng)用在自動駕駛汽車、掃地機器人等產(chǎn)品上，但單一傳感器在很多領(lǐng)域因其物理原理的局限性，難以全面感知復(fù)雜環(huán)境或目標(biāo)，容易受到不確定性因素的影響，從而導(dǎo)致系統(tǒng)感...

本發(fā)明關(guān)于微機電(micro?electro?mechanical?system,mems)封裝，特別是關(guān)于包含不同微機電元件的微機電封裝及其制造方法，這些微機電元件具有不同的元件層厚度和不同的電極間隙。、微機電(mems)元件是整合機械和電性組件的微型元件，以感測物理量和/或與周圍環(huán)境交...

示例涉及半導(dǎo)體器件、微機電系統(tǒng)和方法。、使用可偏轉(zhuǎn)膜的微機電結(jié)構(gòu)(mems)可以被實現(xiàn)用于多種用例，諸如麥克風(fēng)、揚聲器、壓力傳感器等。為了防止膜結(jié)構(gòu)和與膜相鄰的另一結(jié)構(gòu)之間的粘附，可以在膜結(jié)構(gòu)與另一結(jié)構(gòu)之間布置防粘元件。然而，在防粘元件的功能性與mems系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)完整性之間存在權(quán)衡。例如，...

本申請涉及聲學(xué)傳感器，具體而言，涉及一種聲學(xué)器件及其制備方法。、基于mems（微機電系統(tǒng)）技術(shù)的壓電器件是一種極具發(fā)展?jié)摿Φ南冗M聲學(xué)傳感器，憑借其低功耗、快速響應(yīng)、高可靠性等諸多突出優(yōu)勢，在眾多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用，并呈現(xiàn)出迅猛發(fā)展的態(tài)勢。該壓電器件主要由支撐體和設(shè)置在其上的振膜組成。其工作...

本申請涉及微機電器件，尤其涉及一種雙傳感器微機電器件及其制備方法。、mems傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器，主要涉及微加工技術(shù)，機械學(xué)/固體聲波理論熱流理論，電子學(xué)、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等等。mems傳感器種類繁多，主要有物理傳感器、化學(xué)傳感器、生物傳感...

、開關(guān)可以閉合或斷開以分別在兩個端子之間電連接或斷開連接。開關(guān)的一個實例是機電開關(guān)，例如繼電器裝置，其包含一對電接觸件，每個電接觸件耦合到相應(yīng)的端子。機電開關(guān)可包含致動器。響應(yīng)于電信號(例如，電壓信號)，致動器可以使兩個電接觸件物理接觸并閉合開關(guān)，或者可以將兩個電接觸件彼此分離以斷開開關(guān)。...

本發(fā)明涉及一種定位裝置和一種將襯底相對于基本上平坦的表面對準(zhǔn)的方法。、對于微米結(jié)構(gòu)和/或納米結(jié)構(gòu)部件的制造，通常需要將部件相對于彼此精確地對準(zhǔn)，例如將襯底相對于掩模精確地對準(zhǔn)。、掩模和襯底能夠抵靠彼此平坦放置，或者優(yōu)選以小的間隙寬度(例如μm)彼此平行定位。為了實現(xiàn)這一點，通常使用楔形誤差...

本技術(shù)涉及微機電，具體涉及一種mems傳感器芯片結(jié)構(gòu)。、微電子機械系統(tǒng)(micro?electro?mechanical?system)，簡稱mems，是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的集微型機械、微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理、智能控制于一體的一項新興科學(xué)技術(shù)。其中，mems慣性傳感器包括加速...

本技術(shù)涉及抗干擾和隔離振動，尤其是涉及一種用于mems芯片的電路板。、微機電系統(tǒng)mems是一種集成了微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)的高科技電子機械器件，融合了光刻、腐蝕、薄膜、硅微加工等制作技術(shù)，常見的mems產(chǎn)品包括mems加速度計、mems陀螺儀和mems慣性測量單元等，廣泛應(yīng)用于航空航天...

本發(fā)明涉及于微機電系統(tǒng)（mems）領(lǐng)域，具體地說就是一種單片mems壓力芯片的制備方法。、作為微機電系統(tǒng)（mems）技術(shù)的核心成果之一，mems壓力芯片通過融合微電子與微機械技術(shù)，構(gòu)建了革命性的微型壓力檢測系統(tǒng)。這種微型化系統(tǒng)基于獨特的微機械結(jié)構(gòu)設(shè)計，利用壓敏電阻的形變效應(yīng)將外界壓力轉(zhuǎn)化為...

本發(fā)明涉及透明材料表面微納結(jié)構(gòu)制備領(lǐng)域，特別涉及異質(zhì)界面微凸誘導(dǎo)能量再分布調(diào)控微溝槽側(cè)壁斜度的方法，在光學(xué)元件制造、功能化表面構(gòu)建及微流控器件制備等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。、隨著微納制造技術(shù)的迅猛發(fā)展，透明介質(zhì)材料在光學(xué)元件、生物芯片及精密傳感等領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛。熔融石英作為典型的透明介...

本申請實施例涉及半導(dǎo)體器件，尤其涉及一種壓電器件制備工藝和壓電器件。、微機電系統(tǒng)(mems)技術(shù)已經(jīng)在多個領(lǐng)域中獲得了廣泛應(yīng)用，其中之一是壓電驅(qū)動mems器件技術(shù)。、靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、電熱驅(qū)動和壓電驅(qū)動是mems器件的四種主要驅(qū)動機構(gòu)。與靜電驅(qū)動器件相比，壓電驅(qū)動器件可以在更低的電壓下驅(qū)...

本發(fā)明屬于微納光子學(xué)領(lǐng)域，特別涉及一種氧化硅填充的gst（gesbte）相變淺溝槽像素級電控超表面結(jié)構(gòu)及其加工方法。、隨著光電子芯片向高密度、多功能化方向發(fā)展，近紅外動態(tài)光學(xué)調(diào)控技術(shù)對超表面器件的工藝兼容性、調(diào)控精度及可靠性提出了更高要求。、現(xiàn)有技術(shù)中，電控超表面工藝主要包含以下環(huán)節(jié)：、....

、開關(guān)可以閉合或斷開以分別在兩個端子之間電連接或斷開連接。開關(guān)的一個實例是機電開關(guān)，例如繼電器裝置，其包含一對電接觸件，每個電接觸件耦合到相應(yīng)的端子。機電開關(guān)可包含致動器。響應(yīng)于電信號(例如，電壓信號)，致動器可以使兩個電接觸件物理接觸并閉合開關(guān)，或者可以將兩個電接觸件彼此分離以斷開開關(guān)。...